設備介紹 

1.雷射精密繪圖機		2.底片沖片機
※繪圖能力最小線寬5μm±1um ※繪圖機等級50800dpi
3.底片檢查機 (AOI)		4.影像測量儀 2.5D
高倍率檢驗黑點、斷線、缺口		量測線寬、線距

 

底片檢查機[外觀檢測圖形] (AOI)		5.精密量測 2D
高倍率檢驗黑點、斷線、缺口

 

檢查程序流程示意圖

 

 檢測項目

 

1.初步目檢

配合光學標準檢驗桌進行目視檢測，檢驗底片外觀是否合格，項目如下： 

(1) 針孔

(2) 細絲

(3) 髒污

(4) 正片/負片

(5) 膜上/膜下 

 

2.自動光學檢查設備(AOI)

利用自動光學檢查設備配合螢幕顯示，詳細檢驗項目如下： 

(1) 細微針孔

(2) 斷線、缺口

(3) 線邊、圓邊 

 

3.儀器測量

在底片保存的溫、溼度正常範圍內進行二次元測量底片(ex:PAD-PAD間距)，利用該數據比對該底片解析度、漲縮值比例的公差值是否在正常範圍內，量測項目如下：

 (1) PNL間距量測精準度

(2) Pitch間距量測精準度

(3) 漲縮值