隨著光電產業和微電子業的快速發展,本公司也在成立新廠後,引進無塵室環境設備和超高精密度的繪圖機,以更專業的技術正確地為客戶繪出TFT-LCD(薄膜電晶體液晶顯示器)、晶圓和CLASS PHOTO MASK玻璃光罩的底片。
底片解析度與誤差值:
|
線寬/線距 |
單位 |
解析度 6000dpi |
理論 誤差 |
解析度 12000dpi |
理論 誤差 |
解析度 25000dpi |
理論 誤差 |
解析度 50000dpi |
理論 誤差 |
|
3.0 ~ UP |
mil |
ν |
0.18mil |
|
|
|
|
|
|
|
76 ~ UP |
μm |
ν |
4.2μm |
|
|
|
|
|
|
|
2.0 ~ 3.0 |
mil |
|
|
ν |
0.12mil |
|
|
|
|
|
51 ~ 75 |
μm |
|
|
ν |
2.8μm |
|
|
|
|
|
0.8 ~ 2.0 |
mil |
|
|
|
|
ν |
0.08mil |
|
|
|
21 ~ 50 |
μm |
|
|
|
|
ν |
2.0μm |
|
|
|
0.2~0.8 |
mil |
|
|
|
|
|
|
ν |
0.04mil |
|
5.0 ~ 20 |
μm |
|
|
|
|
|
|
ν |
1.0μm |
註:
1.線寬/線距的條件,均應同時併入考量。
2.若碰到特殊需求時,建議請將解析度往上提升一級。
3.請盡量依照設計之解析度參數製作,作為驗收標準。
4.如 貴公司有額外指定解析度參數,則依 貴公司要求製作。

