设备介绍 

1.雷射精密绘图机		2.底片冲片机
※绘图能力最小线宽5μm±1um ※绘图机等级50800dpi
3.底片检查机 (AOI)		4.影像测量仪 2.5D
高倍率检验黑点、断线、缺口		量测线宽、线距

 

底片检查机[外观检测图形] (AOI)		5.精密量测 2D
高倍率检验黑点、断线、缺口

 

检查程序流程示意图

 

 检测项目

 

1.初步目检

配合光学标准检验桌进行目视检测，检验底片外观是否合格，项目如下： 

(1) 针孔

(2) 细丝

(3) 脏污

(4) 正片/负片

(5) 膜上/膜下 

 

2.自动光学检查设备(AOI)

利用自动光学检查设备配合萤幕显示，详细检验项目如下： 

(1) 细微针孔

(2) 断线、缺口

(3) 线边、圆边 

 

3.仪器测量

在底片保存的温、溼度正常范围内进行二次元测量底片(ex:PAD-PAD间距)，利用该数据比对该底片分辨率、涨缩值比例的公差值是否在正常范围内，量测项目如下：

 (1) PNL间距量测精准度

(2) Pitch间距量测精准度

(3) 涨缩值