随着光电产业和微电子业的快速发展,本公司也在成立新厂后,引进无尘室环境设备和超高精密度的绘图机,以更专业的技术正确地为客户绘出TFT-LCD(薄膜电晶体液晶显示器)、晶圆和CLASS PHOTO MASK玻璃光罩的底片。 

底片分辨率与误差值:  

线宽/线距	单位	分辨率 6000dpi	理论 误差	分辨率 12000dpi	理论 误差	分辨率 25000dpi	理论 误差	分辨率 50000dpi	理论 误差
3.0 ~ UP	mil	ν	0.18mil
76 ~ UP	μm	ν	4.2μm
2.0 ~ 3.0	mil			ν	0.12mil
51 ~ 75	μm			ν	2.8μm
0.8 ~ 2.0	mil					ν	0.08mil
21 ~ 50	μm					ν	2.0μm
0.2~0.8	mil							ν	0.04mil
5.0 ~ 20	μm							ν	1.0μm

 注：

1.线宽/线距的条件，均应同时并入考量。

2.若碰到特殊需求时，建议请将分辨率往上提升一级。

3.请尽量依照设计之分辨率参数制作，作为验收标准。

4.如 贵公司有额外指定分辨率参数，则依 贵公司要求制作。